高光譜相機(jī)在薄膜厚度監(jiān)測(cè)上的應(yīng)用

    在薄膜行業(yè)和涂層行業(yè)中，厚度是一個(gè)非常重要的質(zhì)量參數(shù)；厚度和均勻性嚴(yán)重影響著薄膜的性能，

所以必須非常精準(zhǔn)的測(cè)量薄膜的厚度。而高光譜相機(jī)則可以很好的適用于該項(xiàng)應(yīng)用。

在薄膜行業(yè)和涂層行業(yè)中，厚度是一個(gè)非常重要的質(zhì)量參數(shù)；厚度和均勻性嚴(yán)重影響著薄膜的性能，所以必須非常精準(zhǔn)的測(cè)量薄膜的厚度。

目前，X射線技術(shù)和光譜學(xué)技術(shù)在薄膜厚度測(cè)量方面得到了廣泛的應(yīng)用，不管是在臺(tái)式監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中還是在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中。

目前使用的一般是單點(diǎn)狀的探測(cè)器，而在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)一般都是把探測(cè)器安裝在一個(gè)橫向掃描的平臺(tái)上，

得到的是一個(gè)之字形的檢測(cè)點(diǎn)圖形而不是整個(gè)薄膜，因此只能監(jiān)測(cè)部分樣品的厚度。

一個(gè)行掃描（推掃式）高光譜相機(jī)就可以克服這個(gè)限制，它可以監(jiān)測(cè)整個(gè)的薄膜或者是涂層區(qū)域。在每條線掃描數(shù)據(jù)中，

光譜數(shù)據(jù)能覆蓋薄膜的整個(gè)寬度，并且有很高的空間分辨率。

高光譜相機(jī)檢測(cè)了4種高分子材料薄膜樣品的厚度，使用的是型號(hào)為Specim FX17(波長(zhǎng)935-1700nm)高光譜相機(jī)。

薄膜樣品的標(biāo)稱(chēng)厚度為17，20，20和23um. 使用鏡面幾何的方法，并且仔細(xì)檢查干圖形。通過(guò)解析圖片上光譜位置及距離，就可以得到厚度值。